クリーンルームの測定事項に、外気と内気の圧力差を測る項目があります。 クリーンルーム内の圧力は、陽圧(外部より圧力が高い状態)に維持されていなければなりません。 理由としては、外部の汚れた空気を中に入れないため・・・汚染された空気が中に流入しないため陽圧でなければなりません。 陽圧に維持するために外部の空気を一部取り入れます。取り入れた空気はHEPAフィルターを通し、内部へと循環されていきます。 こうすることで、クリーンルーム内は陽圧に維持され、外部の汚れた空気が流入するのを防いでいます。 それがきちんと正常に作動しているかを確認するために内部と外部の差圧を測ります。
・・・すごく簡単に説明したつもりですが・・・
営業1課 江坂
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